近日，佳能公司宣布其已经开始销售基于“纳米印刷”（NIL）技术的芯片生产设备FPA-1200NZ2C。佳能表示，该设备采用不同于复杂光刻技术的方案，可以制造5nm芯片；相较于目前已商用化的EUV光刻技术，NIL技术可大幅减少耗能，并降低设备成本。（科创板日报）